科学系ニュース 半導体前工程:層間絶縁膜 層間絶縁膜に必要な特性 誘電率とは何か?なぜ低誘電率が必要なのか?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。 層間絶縁膜には、単に電気的に絶縁するだけでなく、デバイスの性能、信頼性、製造プロセス全体に影響を与える様々な特性が求められます。どのような特性が必要なのか、誘電率やリーク電流とは何かを知ることができます。
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