科学系ニュース 三井化学の次世代EUVペリクル EUVペリクルとは何か?カーボンナノチューブが使用される理由は何か?
三井化学は、最先端の半導体製造、特にEUV(極端紫外線)露光技術に使用されるEUVペリクルに強みを持っており、次世代品の投入も検討しています。EUVペリクルとは何か、次世代品としてカーボンナノチューブが使用される理由はなにかを知ることができます。
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