科学系ニュース ニコンの先端半導体向けアライメントステーション アライメントステーションとは何か?歪みの測定方法は?
ニコンはウェハ積層に伴う需要増に対応するため、ウェハの歪みや位置ずれを高速・高精度に計測するアライメントステーションの開発に取り組んでいます。歪みの測定方法やウエハの積層が増加している理由を知ることができます。
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