科学系ニュース 熱拡散法とは何か?どのような装置が使用されるのか?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。熱拡散法は高温環境でドーパントガスなどを使い、不純物をウェハーに拡散させることで、ドーピングを行う方法です。熱拡散法とは何か、どのような装置を使用するのか、ドーパントガスに求められるものは何かを知ることができます。
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