科学系ニュース セントラル硝子の高純度フッ化水素ガス増産 どんなエッチングに使用されるのか?選択性と反応性を両立できる理由は何か?
セントラル硝子は高純度フッ化水素ガスの増産を検討しています。高純度フッ化水素ガスは主に半導体製造でシリコン酸化膜などを精密に除去するエッチングやガラス表面のエッチングに使用されます。フッ化水素ガスがシリコン酸化膜を選択的に除去できる理由を知ることができます。
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