半導体前工程 反応性イオンエッチング装置 どのような装置か?有力メーカはどこか?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。エッチングの工程で利用される反応性イオンエッチングは異方性に優れるなどの理由から半導体前工程における微細化に欠かせない技術となっています。反応性イオンエッチング装置にどのようなものがあり、どの企業が有力なのかを知ることができます。
半導体前工程
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