科学系ニュース 荏原製作所の半導体製造装置新規開発拠点 どのような装置を開発するのか?CMP装置のドライイン/ドライアウトとは何か?
荏原製作所は、半導体製造装置の開発拠点として、神奈川県藤沢市の藤沢事業所内に新開発棟「V8棟」を建設しています。この開発棟では主に、同社が高いシェアをもつCMP装置の開発を行うとしています。高いシェアを実現しているドライイン/ドライアウトとは何かについて知ることができます。
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半導体前工程
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