科学系ニュース アプライド・マテリアルズへの中国企業による提訴 提訴の内容は?
北京屹唐半導体科技が、米国の半導体製造装置大手アプライド・マテリアルズ(Applied Materials)を提訴したという情報が報じられています。訴訟の対象となっているのは、半導体ウェハの表面を洗浄・改質する際のプラズマ技術です。どのような技術なのか、プラズマを使用する理由などを知ることができます。
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