科学系ニュース 半導体前工程:エレクトロマイグレーションとは何か?なぜアルミニウムはエレクトロマイグレーション耐性が低いのか?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。アルミニウムは、加工の容易さ、コストの低さなどから、長らく半導体デバイスの配線材料として標準的に使用されてきましたが欠点の一つにエレクトロマイグレーション耐性が低い点があります。エレクトロマイグレーションとは何か、なぜアルミニウムの耐性が低いのかを知ることができます。
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
社会