科学系ニュース 原子層エッチング、クライオエッチング装置 どのような装置が使用されるのか?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。原子層エッチング、クライオエッチングは次世代の半導体における更なる微細化に欠かせない技術であり、それぞれの工程では、専用の装置が用いられています。どのような装置が使用されるのか、有力なメーカーはどこかを知ることができます。
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