科学系ニュース スパッタ法による窒化スカンジウムアルミニウム薄膜形成 窒化スカンジウムアルミニウム薄膜とは何か?なぜスパッタでの形成が難しいのか?
東京理科大学らの共同研究チームは、汎用性の高いスパッタ法を用いて、次世代半導体材料として注目される窒化スカンジウムアルミニウム薄膜を高品質で作製することに成功しました。窒化スカンジウムアルミニウム薄膜の特徴やスパッタ法での形成が難しい理由を知ることができます。
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