科学系ニュース イオンミリング法による試料作製 どのような特徴があるのか?FIB法との違いは何か?
機器分析は物質が持つ物理的・化学的性質を精密な機器で測定し、その物質の成分や構造を分析する方法です。イオンミリング法は空中において加速したアルゴンイオンを試料に衝突させ、表面の原子を物理的に弾き飛ばして削る加工技術で、電子顕微鏡観察用の綺麗な断面や薄膜を作るのに適しています。イオンミリングの特徴やFIB法との違いを知ることができます。
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