科学系ニュース キャノンのKrF露光装置の刷新 KrF露光装置とは何か?なぜEUVのような先端技術でない分野で刷新が必要なのか?
キヤノンはKrF半導体露光装置の新製品を発売し、14年ぶりに基幹モデルの刷新を行っています。最先端の露光装置ではEUV露光技術が注目されていますが、KrF露光装置の需要も依然として多くあります。KrF露光装置の特徴や最先端分野でなくても刷新が必要な理由を知ることができます。
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