科学系ニュース 日本へのEUV露光装置の導入 なぜEUVが重要なのか?なぜ今、日本での導入が進んでいるのか?
EUV露光装置は、オランダのASML社が世界で唯一製造している、1台数百億円とも言われる超高額装置であり、最先端(5nm以下)のロジック半導体の製造に欠かすことはできません。なぜEUVが必須なのか、日本に導入し始められているのかを知ることができます。
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