科学系ニュース 積水化学工業のPFASフリーの超純水用配管 なぜ、PFASが使われるのか?どのようにPFASフリーにしたのか?
積水化学工業は、先端半導体製造プロセスで用いられる超純水用配管について、PFASフリー化を進めています。超純水装置に水の純度を維持し、不純物混入を防ぐためにPFAS化合物が使われてきましたが、同社は特殊オレフィン系樹脂を使用し、PFAS含有配管と同等の性能を持つ配管の開発に成功しています。PFAS化合物が使われる理由、特殊オレフィン系樹脂とは何か知ることができます。