科学系ニュース 半導体前工程:メタライゼーションへのルテニウムの適用 ルテニウムの利点は何か?なぜ微細化しても抵抗が増加しにくいのか?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。ルテニウムは微細化に伴う銅配線の課題(高抵抗化、EM耐性低下)を解決する新材料として注目されています。なぜ微細化に適しているのか、同じく銅に変わる期待があるコバルトとの比較を知ることができます。
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