科学系ニュース 日立ハイテク、CD-SEMなどの生産能力拡大 CD-SEMとは何か?なぜ生産拡大するのか?
需要の急増に伴う最先端半導体の増産に対応するため、主力製品であるCD-SEM(長尺測定走査電子顕微鏡)の生産の増強を進めています。CD-SEMとは何か、日立ハイテクのCD-SEMの特徴を知ることができます。
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