科学系ニュース ウエハの直接接合とは何か?どんなメリットがあるのか?
半導体製造において前工程から後工程へと性能向上開発の主戦場が移り始めています。ウエハの直接接合は接着剤や中間層を使わず、2枚のウエハ表面同士を原子間力などで密着させ、接合する技術で、極めて微細な接続ピッチを実現を実現し、微細化、高速・低消費電力化を実現可能な技術です。ウエハの直接接合とは何か、そのメリットや工程を知ることができます。
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