科学系ニュース 半導体前工程:寸法検査装置 どのように測定するのか?光の回折限界とは何か?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。寸法検査装置は半導体回路の線幅や穴径などをナノメートル精度で測定する装置であり、トランジスタのゲート長や配線幅といった寸法がチップの性能に直結するため重要な検査となっています。検査の方法や極めて微細な測定を行う方法を知ることができます。
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