科学系ニュース 大陽日酸のMOCVD装置 MOCVD装置とは何か?エピタキシャル成長とは何か?
大陽日酸がポーランド科学アカデミー高圧物理研究所(Unipress)に、複数台のMOCVD装置を納入することが決定しました。MOCVD装置は有機金属ガスと反応ガスを高温の基板に供給し、化学反応によって半導体などの高品質な薄膜を結晶成長させる装置です。MOCVD装置の特徴や利点であるエピタキシャル成長について知ることができます。
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