科学系ニュース 半導体前工程:エリプソメーター エリプソメーターとは何か?光の偏光が起きる理由は何か?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。エリプソメーターは偏光した光が試料で反射する際の偏光状態の変化を測定し、その値から膜厚を測定する装置です。偏光状態が変化する理由や有力なメーカーがどこかを知ることができます。
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