科学系ニュース 半導体の前工程:インゴットの引き上げ インゴットとは何か?引き上げ工程の装置で重要なものは?
半導体が重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。前工程の一つであるインゴットの引き上げは、種結晶を回転させながらシリコン融液からゆっくりと引き上げることで、円柱状の単結晶インゴットを作り出すものです。この単結晶インゴットがシリコンウエハの原料として使用されます。インゴットとは何か、引き上げはどのような工程でどのような装置が使用されるのかを知ることができます。
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