科学系ニュース ウェットストリップとは何か?どのような薬液が使用されるのか?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。ウェットストリップは導体製造で不要なレジストを化学溶液に浸漬して除去する方法です。プラズマダメージがない利点がある一方、廃液処理や下地への影響が課題となることがあります。どのような薬液が使用されるのかそれぞれの薬液の特徴は何かを知ることができます。
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