科学系ニュース JOINT3での荏原製作所の役割 荏原製作所の半導体製造向け製品にはどのようなものがあるのか?
レゾナックや東京エレクトロンなど国内外の27社が、AI半導体向け新基板開発を目的としたコンソーシアム「JOINT3」を設立しました。荏原製作所はパネルレベル有機インターポーザー向けのCMP装置の開発を行っています。CMP装置に必要な性能や基板の反りが発生しやすい理由を知ることができます。
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