科学系ニュース オーク製作所のダイレクト露光装置 半導体後工程とは何か?ダイレクト露光装置の特徴は何か?
オーク製作所は、半導体後工程製造向け露光装置の次世代機として、ダイレクト露光装置「SDi」を開発しています。ダイレクト露光装置は半導体後工程である半導体パッケージの微細配線形成に利用されています。半導体後工程とは何か、ダイレクト露光装置の特徴は何か知ることができます。
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