社会 圧力センサーとは何か?ピエゾ抵抗効果とは何か?ウエハの直接接合が必要な理由は何か?
半導体製造において前工程から後工程へと性能向上開発の主戦場が移り始めています。圧力センサーは、微小電気機械システム(MEMS)技術で作られ、圧力によって変形するダイヤフラム(隔膜)などの微細な機械構造と、それを電気信号に変換する回路を一体形成したデバイスです。その仕組みや直接接合が必要な理由を知ることができます。
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