科学系ニュース JOINT3でのウシオ電機の役割 露光装置に必要な性能は何か?
レゾナックや東京エレクトロンなど国内外の27社が、AI半導体向け新基板開発を目的としたコンソーシアム「JOINT3」を設立しました。ウシオ電機は露光装置のリーディングカンパニーとして参加しています。パネルレベルの有機インターポーザーでの露光機に求められるものが何か知ることができます。
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