科学系ニュース 富士フイルム、半導体向け材料の開発・生産体制を強化 強化の理由は?ポストCMPクリーナーとは何か?
富士フイルムは、静岡県榛原郡吉田町にある工場で、次世代半導体向け材料の開発・生産体制を強化しています。同工場では、ポストCMPクリーナー、極端紫外線(EUV)向けフォトレジストなどの製造を行っています。ポストCMPクリーナーとはなにか、どんな物質が使用されるのかを知ることができます。
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