科学系ニュース JSRの塗るだけの絶縁膜や多孔質膜 従来の絶縁膜や多孔質膜の形成方法は?なぜ塗るだけで成膜出来るのか?
JSRが開発している「塗るだけの絶縁膜や多孔質膜」は、半導体製造プロセスにおいて革新的な新発想の材料として注目されています。塗るだけで成膜が可能となれば、複雑な装置と複数工程を要するプロセスが不要となる大きなメリットがあります。なぜ塗るだけで成膜できるのかを知ることができます。
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