半導体後工程 半導体後工程:高周波スイッチ
半導体製造において前工程から後工程へと性能向上開発の主戦場が移り始めています。MEMSデバイスの一つである高周波スイッチは静電気力などで微細な可動部を動かし、RF信号の経路をON/OFFする超小型の機械式スイッチです。そのメカニズムやウエハの直接接合が必要な理由を知ることができます。
半導体後工程
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