科学系ニュース 高温での熱処理接合 高温で強い結合ができる理由は何か?なぜ低温→高温という手順を踏むのか?
半導体製造において前工程から後工程へと性能向上開発の主戦場が移り始めています。ウエハの直接接合は借り結合を行った後に、高温で処理を行い強固な結合を形成します。高温での処理方法やいきなり高温で処理しない理由を知ることができます。
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