科学系ニュース CVD(化学気相成長法)の原料ガス どんなガスがあるのか?標準的なガスとの違いは何か?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。CVDは絶縁膜、導電膜、半導体膜など、様々な機能を持つ薄膜の形成に広く用いられており、その原料ガスの成分が薄膜の成分となります。原料ガスには高い純度が求められ、各メーカーが様々な工夫をしています。原料ガスに求められる特性や製造方法、どのようなメーカーがあるのかを知ることができます。
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