科学系ニュース 高周波スイッチとは何か?可動部はなぜ電気信号で機械的に動くのか?ウエハの直接接合が必要な理由は何か?
半導体製造において前工程から後工程へと性能向上開発の主戦場が移り始めています。MEMSデバイスの一つである高周波スイッチは静電気力などで微細な可動部を動かし、RF信号の経路をON/OFFする超小型の機械式スイッチです。そのメカニズムやウエハの直接接合が必要な理由を知ることができます。
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