科学系ニュース ラムリサーチ、装置へのセンサー搭載、AIとの統合
プラズマエッチング装置(Sense.i)や成膜・めっき装置に多くのセンサーを設置、AIと統合することで自律制御、仮想空間で何百万通りの条件を試作前に検証する「デジタルツイン」、予知保全の実現を目指しています。どのようなセンサーを使用するのか知ることができます。
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