半導体前工程 ウエハの洗浄 どのような洗浄法があるのか?ウェット洗浄とドライ洗浄とは何か?
ウエハの洗浄はパーティクル、金属不純物や有機物などの除去のために行われ、全行程の約3割を洗浄工程が占めるともいわれる重要な工程です。ウエハの洗浄にはウェット洗浄とドライ洗浄がありそれぞれが異なる特長を持っています。ウエハの洗浄の重要性やそれぞれの手法の特徴などを知ることができます。
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