科学系ニュース ADEKAのMOR用金属化合物の専用プラント MORとは何か?なぜスズやジルコニウムが使用される理由は何か?
ADEKAが、茨城県神栖市にある鹿島化学品工場に、次世代EUVリソグラフィ向けMOR(金属酸化物レジスト)用金属化合物の専用プラントを新設することを決定しました。MORの利点やなぜ、スズやジルコニウムが使用されるのか知ることができます。
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