科学系ニュース TEMの試料作成法 どんな種類があるのか?FIB法とは何か?
機器分析は物質が持つ物理的・化学的性質を精密な機器で測定し、その物質の成分や構造を分析する方法です。TEMの試料は100nm以下と極めてサンプルを薄く加工する必要があります。どのような手法があるのかや代表的な方法であるFIB法について知ることができます。
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