科学系ニュース EUVメタルレジストとは何か?なぜ酸化スズが利用されるのか?
次世代の超微細半導体露光(EUV露光)向けに開発されている、酸化スズなどの金属化合物を主成分とした感光材であるEUVメタルレジストは超微細回路を高い解像度で形成できる特徴から注目されています。なぜ微細化に優れるのか、酸化スズが使用されるのかを知ることができます。
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース
科学系ニュース