科学系ニュース リックスの半導体洗浄装置量産へ どのような洗浄装置なのか?なぜ需要が高まっているのか?
リックスの新装置は、槽内の圧力を変化させて洗浄液を隙間まで浸透・撹拌させる「減圧機構」を備えており、3D積層構造の普及により、極小の隙間の汚れを除去するニーズが急増しているフラックス洗浄に適した装置です。なぜ高い洗浄力を持つのか知ることができます。
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