科学系ニュース リンの半導体製造での利用 どんな用途で利用されるのか?なぜ窒化膜を除去できるのか?
半導体エッチングガスや洗浄剤に不可欠な黄リンは、新たな供給危機に直面しています。高純度リン酸として、主に洗浄やエッチング(膜の削り取り)工程で使用されます。なぜ洗浄やエッチングに適しているのかを知ることができます。
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