科学系ニュース ASMLのHigh NA EUV装置
従来のEUVより光の解像力を大幅に高め、2nm以下の極微細な回路を1回で精密に焼き付けることができる技術としてASMLが導入を進めています。なぜ開口数(NA)が重要なのか知ることができます。
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