科学系ニュース TDKの米QEIコーポレーションの買収 高周波電源装置とは何か?半導体製造でどのように使用されるのか?
TDKは、2025年6月20日に米QEIコーポレーションの電源ビジネス関連資産を買収しています。QEIは、半導体製造プロセスにおけるプラズマプロセス向け高周波電源装置に強みを持っている企業です。高周波電源装置とは何か、用途、特に半導体製造でどのように用いられているのかを知ることができます。
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