科学系ニュース エピタキシャル・ウエハ
単結晶シリコン基板の表面に、基板の結晶配列を引き継いだ新たな単結晶薄膜を成長させたエピタキシャル・ウエハは最先端ロジックやイメージセンサー等に不可欠です。どのようなメリットがあるのか知ることができます。
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