科学系ニュース 日揮ホールディングスのウエハー研磨材原料増産
CMPスラリーに使用されるコロイダルシリカを最大3割増産するとされています。日揮のコロイダルシリカ技術の特徴や増産の理由は何かを知ることができます。
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