科学系ニュース 富士フイルムのフッ素フリーネガ型ArF液浸レジスト
フッ素の代わりに透明性と撥水性を両立する独自の樹脂構造と添加剤を開発し、フッ素フリーを実現しています。フッ素の役割とどのようにフッ素フリーとしたのかの詳細を知ることができます。
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