科学系ニュース 半導体後工程:MEMSデバイスのフィルター
半導体製造において前工程から後工程へと性能向上開発の主戦場が移り始めています。MEMSデバイスのフィルターは特定の周波数(信号)や光の波長を選択的に通し、ノイズや干渉を排除する役割を果たします。選択性を持つ理由やウエハの直接接合が必要な理由を知ることができます。
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