科学系ニュース 三井化学の三フッ化窒素事業撤退 三フッ化窒素とは何か?なぜ撤退するのか?
三井化学は、三フッ化窒素(NF3)事業から撤退することを発表しました。三フッ化窒素は強力な酸化剤や金属の浸食作用をもつ物質で、プラズマエッチングや洗浄用のガスとして利用されています。なぜ三フッ化窒素が使用されるのか、なぜ撤退を決めたのかを知ることができます。
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