半導体前工程 半導体前工程:エレクトロマイグレーションとは何か?なぜアルミニウムはエレクトロマイグレーション耐性が低いのか?アルミニウム配線の問題点 なぜ電気抵抗が銅よりも高いのか?配線が微細化するほど抵抗が大きくなる理由は?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。アルミニウムは、加工の容易さ、コストの低さなどから、長らく半導体デバイスの配線材料として標準的に使用されてきました。しかし、半導体の性能の向上とともに、電気抵抗や熱電動性の低さが問題となっています。なぜこれらの問題点があるのかなどを知ることができます。