科学系ニュース オキサイドのDUVレーザ技術 DUVレーザとは何か?なぜ単結晶が必要なのか?
レーザ光を極小スポットに集光し、材料を削る・切る・穴をあけるレーザー微細装置導体は、半導体チップの微細化に不可欠な技術であり、AIチップの性能向上に欠かすことができません。オキサイドはレーザー微細装置導体に必要な優れたDUVレーザ技術をもっています。DUVレーザは波長が極めて短い紫外線のレーザです。「超極細」なスポットに絞れるため微細加工に適しています。どのようにDUVレーザーを発生させるのかを知ることができます。