科学系ニュース ニコン半導体露光機についてのニュース
半導体の微細化のためには、フォトレジストによるパターン形成技術が重要です。その中で使用される露光機、特に最先端半導体に用いられる露光機ではASMLが圧倒的なシェアをもっています。露光機とは何か、どのように微細化を進めていくのかを知ることができる記事になっています。
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